紫外パルス光照射下における酸化物薄膜結晶成長機構と高効率成膜を実現する主要因
紫外パルス光照射下における酸化物薄膜結晶成長機構と高効率成膜を実現する主要因
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紫外脉冲光照射下氧化物薄膜晶体生长机理及实现高效成膜的主要因素
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
土屋哲男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中島智彦;篠田健太郎;土屋哲男
