Advanced unconventional techniques for sub-100 nm nanopatterning

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DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
InfoMat
影响因子：
22.7
通讯作者：
Yalin Song
Yalin Song
中科院分区：
材料科学1区
文献类型：
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作者：
Mengmeng Guo;Zhiyuan Qu;Fanyi Min;Zheng Li;Yali Qiao;Yalin Song

文献摘要

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