Influence of Additive-Free process on the Microstructure of Very Narrow Cu Wires in the Lower Region of a Trench
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复制标题
无添加剂工艺对沟槽下部极细铜线微观结构的影响
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Ke,T.Namekawa,K.Tamahashi and J.Onuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
冨士田誠之;田中良典;高橋和;野田進;保井晃;A. Takeuchi;Y.Ke,T.Namekawa,K.Tamahashi and J.Onuki
