表面活性化接合とSi基板剥離によるGaN極性反転構造の作製

表面活性化接合とSi基板剥離によるGaN極性反転構造の作製
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通过表面激活键合和硅衬底剥离制备GaN极性反转结构

DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
小野寺 卓也,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,久志本 真希,鄭 惠貞,本田 善央,天野 浩,片山 竜二
小野寺 卓也,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,久志本 真希,鄭 惠貞,本田 善央,天野 浩,片山 竜二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Shunsuke Goto;Keita Nomura;Masanori Yamamoto;Hiromoto Nishihara;Masashi Ito;Masanobu Uchimura;Takashi Kyotani;小野寺 卓也,上向井 正裕,髙橋 一矢,岩谷 素顕,赤﨑 勇,林 侑介,三宅 秀人,久志本 真希,鄭 惠貞,本田 善央,天野 浩,片山 竜二

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