Remote supply of hydrogen radical and production of Si from reduction of SiCl4
Remote supply of hydrogen radical and production of Si from reduction of SiCl4
复制标题
远程供应氢自由基并由 SiCl4 还原生产 Si
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Sumiya
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Okamoto;Y. Nakamura;Y. Suzuki;M. Sumiya
