Micro/nano-printing of metal and nanoparticle thin film and its application to MEMS device
Micro/nano-printing of metal and nanoparticle thin film and its application to MEMS device
复制标题
金属和纳米粒子薄膜的微纳打印及其在MEMS器件中的应用
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Wang Ke
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Arata Kaneko;Akihiro Mori;Keisuke Kanada;Chen Sumin;Wang Ke
