4H-SiC結晶の昇華法成長および溶液法/昇華法を組み合わせたハイブリッド成長における貫通らせん転位伝播挙動のオフ角依存性

4H-SiC結晶の昇華法成長および溶液法/昇華法を組み合わせたハイブリッド成長における貫通らせん転位伝播挙動のオフ角依存性
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4H-SiC 晶体升华生长和混合溶液/升华生长中螺旋位错传播行为的偏角依赖性

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
加藤智久
加藤智久
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
江藤数馬;三谷武志;百瀬賢治;加藤智久

文献摘要

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