Y. Ogura, J. Tanida, Y. Ichioka, Y. "Diffractive phase element for shrinking focal spot diameter: design, fabrication, and application to laser beam lithography" and K. Matsuoka: Opt. Rev.. 8. 416-421 (2001)
Y. Ogura, J. Tanida, Y. Ichioka, Y. "Diffractive phase element for shrinking focal spot diameter: design, fabrication, and application to laser beam lithography" and K. Matsuoka: Opt. Rev.. 8. 416-421 (2001)
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Y. Ogura、J. Tanida、Y. Ichioka、Y.“用于缩小焦斑直径的衍射相位元件：设计、制造和激光束光刻应用”和 K. Matsuoka：选项。
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