Y.Murakami et al.: "Dose Rate Dependence of Ion-Induced-Damage in Si Evaluated by Spectroscovic Ellipsometry"Solid State Phenomena. Vol.78-79. 341-344 (2001)

Y.Murakami et al.: "Dose Rate Dependence of Ion-Induced-Damage in Si Evaluated by Spectroscovic Ellipsometry"Solid State Phenomena. Vol.78-79. 341-344 (2001)
复制标题

Y.Murakami 等人:“通过光谱椭圆偏振法评估硅中离子诱导损伤的剂量率依赖性”固态现象。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献