Y.Murakami et al.: "Dose Rate Dependence of Ion-Induced-Damage in Si Evaluated by Spectroscovic Ellipsometry"Solid State Phenomena. Vol.78-79. 341-344 (2001)
Y.Murakami et al.: "Dose Rate Dependence of Ion-Induced-Damage in Si Evaluated by Spectroscovic Ellipsometry"Solid State Phenomena. Vol.78-79. 341-344 (2001)
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Y.Murakami 等人:“通过光谱椭圆偏振法评估硅中离子诱导损伤的剂量率依赖性”固态现象。
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