めっきによるLSI配線作成における添加剤の効果と埋め込み性-動的モンテカルロシミュレーション-
めっきによるLSI配線作成における添加剤の効果と埋め込み性-動的モンテカルロシミュレーション-
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电镀 LSI 布线中添加剂和嵌入性的影响 - 动态蒙特卡罗模拟 -
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子豊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
金子豊;樋渡保秋;小原勝彦;浅富士夫;金子豊
