微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究―形状測定の拘束・高精度化のための走査方式の検討―
微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究―形状測定の拘束・高精度化のための走査方式の検討―
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用于微观形状测量的非接触静电力显微镜研究 - 约束形状测量并提高精度的扫描方法检验 -
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,高偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Song;Y.Ju;Y.Morita;B.Xu;G.Song;林 照剛，石崎佑樹，道畑正岐，高谷裕浩，田中慎一;賈志剛,細渕啓一郎,伊東聡,清水裕樹,高偉;石崎佑樹，林照剛，道畑正岐，高谷裕浩;藤垣元治,後藤良介,大塚展弘,村田頼信;細渕啓一郎,賈志剛,伊東聡,清水裕樹,高偉
