Siエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用のモデリングと形状進展シミュレーション
Siエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用のモデリングと形状進展シミュレーション
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硅蚀刻中等离子体-表面相互作用和形状演化模拟的建模
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斧高一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
津田博隆;鷹尾祥典;汪利口浩二;斧高一
