Low-charge-state ion production by a laser ion source for the TIARA ion implanter
Low-charge-state ion production by a laser ion source for the TIARA ion implanter
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用于 TIARA 离子注入机的激光离子源产生低电荷态离子
DOI：
10.1063/1.5128570
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发表时间：
2020
影响因子：
1.6
通讯作者：
H.Kashiwagi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Yamada;H.Kashiwagi
