The effect of plastic anisotropy on evaluation Cu/SiN interface strength with different copper crystal orientation
The effect of plastic anisotropy on evaluation Cu/SiN interface strength with different copper crystal orientation
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塑性各向异性对评价不同铜晶向Cu/SiN界面强度的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiaki Suzuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chuantong Chen;Kozo Koiwa;Nobuyuki Shishido;Shoji Kamiya;Masaki Omiya;Hisashi Sato;Masahiro Nishida;Takashi Suzuki;Tomoji Nakamura;Takeshi Nokuo;Toshiaki Suzuki
