Unterdrückung des Defektwachstums
Unterdrückung des Defektwachstums
复制标题
防卫研究
DOI：
10.1002/vipr.201000412
复制
发表时间：
2010
影响因子：
0.1
通讯作者：
Otmar Zimmer
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Frank Kaulfuß;Otmar Zimmer
在Schichtdicken温度约为10 μm时，金属氮化物、氧化态的氧化变态Kohlenstoffschichten werden gewöhnlich。
Klassische Hartstoffschichten, wie z. B. Metallnitride, ‐oxide oder hartamorphe Kohlenstoffschichten werden gewöhnlich in Schichtdicken bis ca. 10 μm angewendet.