Al/Ti/Snを用いたp形4H-SiCへのオーミックコンタクトの低温形成
Al/Ti/Snを用いたp形4H-SiCへのオーミックコンタクトの低温形成
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使用 Al/Ti/Sn 低温形成 p 型 4H-SiC 欧姆接触
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中島寛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
畑山紘太;山本圭介;王冬;中島寛
