鉾井耕司: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価-ガス圧依存性および気体混合による効果-"平成13年電気学会放電研究会資料. ED-01-113. (2001)

鉾井耕司: "C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価-ガス圧依存性および気体混合による効果-"平成13年電気学会放電研究会資料. ED-01-113. (2001)
复制标题

Koji Hokoi:“使用 C_7F_<16> 沉积 C:F 薄膜及其评估 - 气体压力依赖性和气体混合的影响 -”2001 IEEJ 放电研究组材料 (2001)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献