Discharge Plasmas Generated by Piezoelectric Transformer and Their Applications:VUV Emission from Xe and Ar Excimers
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压电变压器产生的放电等离子体及其应用：Xe和Ar准分子的VUV发射
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Haruo Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
飯田芳久;森 竜雄;Haruo Itoh
