Transport of nano-particles after turning off rf discharges

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关闭射频放电后纳米颗粒的传输

DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Proceedings of 18th Internatiolnal Symposium on Plasma Chemistry (CD-ROM)
影响因子：
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通讯作者：
and Masaharu Shiratani
and Masaharu Shiratani
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Shinya Iwashita;Michihito Morita;Kazunori Koga;and Masaharu Shiratani

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