Advanced NbN circuit fabrication process for superconducting qubit applications
Advanced NbN circuit fabrication process for superconducting qubit applications
复制标题
用于超导量子位应用的先进 NbN 电路制造工艺
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y. Nakamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Terai;K. Makise;W. Qiu ;Z. Wang;J. Kimura;T. Ishikawa;R. Yamazaki;Y. Nakamura
