フォトリソグラフィと微細レーザ加工による高速応答サーモパイルの作製
フォトリソグラフィと微細レーザ加工による高速応答サーモパイルの作製
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使用光刻和精细激光加工制造高速响应热电堆
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村岡茂信矢野満明喜田義宏市川耕造
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤敦;内山大輔;橘安澄;宮本雄貴;堀口常雄;村岡茂信矢野満明喜田義宏市川耕造
