Novel method to measure excited nitrogen atom density in electron-beam-excited plasma source with optical emission spectroscopy
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用光学发射光谱法测量电子束激发等离子体源中激发氮原子密度的新方法
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazunari TANIGUCHI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunari TANIGUCHI
