Fabricating high performance diffractive microlens by single step photolithography and wet etching
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通过一步光刻和湿法蚀刻制造高性能衍射微透镜
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chen, Shengbin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ji, An;Zhang, Xinyu;Xie, Changsheng;Chen, Shengbin
