Characterization of metal-induced lateral crystallization of amorphous SiGe on insulating film
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DOI：
10.1016/j.tsf.2005.06.102
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发表时间：
2006-06
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
M. Itakura;Syunji Masumori;T. Ohta;Y. Tomokiyo;N. Kuwano;H. Kanno;T. Sadoh;M. Miyao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Itakura;Syunji Masumori;T. Ohta;Y. Tomokiyo;N. Kuwano;H. Kanno;T. Sadoh;M. Miyao
