プラズマCVD法による薄膜/セラミクス構造の放射線センサーの開発
プラズマCVD法による薄膜/セラミクス構造の放射線センサーの開発
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利用等离子体CVD法开发薄膜/陶瓷结构的辐射传感器
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下妻光夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Date H;Takamasa T;Shimozuma M;Sawada T;下妻光夫
