K.Tsubouchi: "Selective Aluminum Chemical Vapor Deposition" J.Vac.Sci.& Technol. A10. 856-862 (1992)
K.Tsubouchi: "Selective Aluminum Chemical Vapor Deposition" J.Vac.Sci.& Technol. A10. 856-862 (1992)
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K.Tsubouchi：“选择性铝化学气相沉积”J.Vac.Sci。
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