液体への直接蒸着パリレン膜の応力計測
液体への直接蒸着パリレン膜の応力計測
复制标题
直接沉积在液体中的聚对二甲苯薄膜的应力测量
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
下山勲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
グェンビンキェム;松本潔;下山勲
