Microfabrication and Characterization of Evolutionary MEMS Resonators
Microfabrication and Characterization of Evolutionary MEMS Resonators
复制标题
演化 MEMS 谐振器的微加工和表征
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.M.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kamalian;R.;Zhang;Y.;Agogino;A.M.
约束和人类交互在不断发展的 MEMS 设计中的作用：微谐振器案例研究
DOI：
10.1115/detc2004-57462
发表时间：
2004
期刊：
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影响因子：
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作者：
R. Kamalian;A. Agogino;H. Takagi
通讯作者：
H. Takagi