Low-Temperature Silicon Thin Film Technology toward 3D Optical Interconnects
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复制标题
面向 3D 光学互连的低温硅薄膜技术
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ryohei Takei
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryohei Takei;Yuriko Maegami;Emiko Omoda;Youichi Sakakibara;Masahiko Mori;and Toshihiro Kamei;Y. Maekawa;Ryohei Takei
