X.Li, T.Ono, Y.Wang, M.Esashi: "Study on Ultra-Thin NEMS Cantilevers - High Yield Fabrication and Size-Effect on Young's Modulus of Silicon"Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas. 427-430 (2002)
X.Li, T.Ono, Y.Wang, M.Esashi: "Study on Ultra-Thin NEMS Cantilevers - High Yield Fabrication and Size-Effect on Young's Modulus of Silicon"Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas. 427-430 (2002)
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X.Li、T.Ono、Y.Wang、M.Esashi:“超薄 NEMS 悬臂梁的研究 - 高产量制造和硅杨氏模量的尺寸效应”Technical Digest MEMS2002,拉斯维加斯。
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