'「次世代エレクトロニクス薄膜技術」、第6章コンビナトリアルテクノロジー集積化薄膜技術による材料開発の革新

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“下一代电子薄膜技术”,第 6 章通过组合技术集成薄膜技术进行材料开发创新

DOI:
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发表时间:
2003
期刊:
株式会社シーエムシー出版
影响因子:
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通讯作者:
松本 祐司
松本 祐司
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
A. Sato;et al;松本 祐司

文献摘要

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