高周波負イオン源のプラズマ駆動周波数の効果
高周波負イオン源のプラズマ駆動周波数の効果
复制标题
高频负离子源等离子体驱动频率的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
髙山頌，小水内翔太，小室淳史，高橋和貴，安藤晃
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
矢島郁実;柿並達也;西 直哉;天野健一;作花哲夫;髙山頌，小水内翔太，小室淳史，高橋和貴，安藤晃
