サファイア基板上への窒化物薄膜の製造方法及び窒化物薄膜装置
サファイア基板上への窒化物薄膜の製造方法及び窒化物薄膜装置
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在蓝宝石衬底上制备氮化物薄膜的方法及氮化物薄膜装置
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发表时间：
2005
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