Design of Combinatorial Shadow Mask for Ternary Composition Spread Library

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三元组合扩散库的组合荫罩设计

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Meas.Sci.Technol 16
影响因子:
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通讯作者:
H.Koinuma
H.Koinuma
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
R.Takahashi;Y.Matsumoto;H.Koinuma

文献摘要

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