窒素およびホウ素をドープした6H-SiCのアニール効果
窒素およびホウ素をドープした6H-SiCのアニール効果
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氮、硼掺杂6H-SiC的退火效应
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木下博之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
柴田陽子;村田諭是;生田美奈;杉浦正明;林啓二;岩谷素顕;上山智;天野浩;赤崎勇;新田州後;木下博之
