K.Nakamura 他1名: "Control of Wall Polymer Deposition and Stabilization of Radical Density in Fluorocarbon Inductively-Coupled Plasmas"Int Symp.Dry Process 2001. 213-218 (2001)
K.Nakamura 他1名: "Control of Wall Polymer Deposition and Stabilization of Radical Density in Fluorocarbon Inductively-Coupled Plasmas"Int Symp.Dry Process 2001. 213-218 (2001)
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K. Nakamura 等人：“氟碳感应耦合等离子体中壁聚合物沉积的控制和自由基密度的稳定” Int Symp. 2001. 213-218 (2001)
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