Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性
Si基板上 PZT 薄膜を用いた超音波トランスデューサアレイの送信特性
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Si衬底上PZT薄膜超声换能器阵列的传输特性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Okuno;T. Fehervari;M. Matsuoka;S. Kameda and T. Yagi;沼田泰幸,鈴木啓佑,尾崎勝弥,岡田長也,赤井大輔,石田 誠
