スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長
スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長
复制标题
溅射退火 AlN 模板上的 UV-C AlGaN 量子阱生长
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
三宅秀人
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
石原頌也;窪谷茂幸;正直花奈子;上杉謙次郎;肖世玉;三宅秀人
