Ultra thin diamond-like carbon film mechanical resonator fabrication byacombined process of FIB-CVD and wet-etching
Ultra thin diamond-like carbon film mechanical resonator fabrication byacombined process of FIB-CVD and wet-etching
复制标题
FIB-CVD与湿法刻蚀联合工艺制备超薄类金刚石碳膜机械谐振器
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R.Kometani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hatakeyama;R. Kometani;S.Warisawa and S. Ishihara;J. Dai;S. Warisawa;T. Hatakeyama;米谷玲皇;R.Kometani
