レーザ測長誤差低減のための環境補償技術-環境補正装置の開発と超精密加工機への適用-
レーザ測長誤差低減のための環境補償技術-環境補正装置の開発と超精密加工機への適用-
复制标题
减少激光测长误差的环境补偿技术 - 环境补偿装置的开发及其在超精密加工机上的应用 -
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山口勝己(他1名 2番目)
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
足立和俊;山口勝己(他1名 2番目)
