大山昌憲: "高熱伝導性スッパタリングSiC薄膜の特性" 東京工業高等専門学校科学技術センター年報「科学技術研究」. 4. 7-8 (1995)

大山昌憲: "高熱伝導性スッパタリングSiC薄膜の特性" 東京工業高等専門学校科学技術センター年報「科学技術研究」. 4. 7-8 (1995)
复制标题

小山正则:《高导热溅射SiC薄膜的特性》东京工业大学科学技术中心年度报告《科学技术研究》4. 7-8 (1995)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献