対向円筒型ターゲットを用いた高周波プラズマスパによる透明導電膜の合成とその空間分布
対向円筒型ターゲットを用いた高周波プラズマスパによる透明導電膜の合成とその空間分布
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对置圆柱靶材高频等离子体水疗合成透明导电薄膜及其空间分布
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂田豪大，大津康徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井野 雄太;大津 康徳;安永 健;池上 康之;松下勝義;山口 毅;坂田豪大，大津康徳
