M.Shikida: "Mechanical Properties of MEMS Film Materials"J.Japan Welding Soc.. vol.69 no.6. 15-17 (2000)
M.Shikida: "Mechanical Properties of MEMS Film Materials"J.Japan Welding Soc.. vol.69 no.6. 15-17 (2000)
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M.Shikida：“MEMS薄膜材料的机械性能”J.Japan Welding Soc..第69卷第6期。
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