非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング -偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-
非直交型2軸ロイドミラー干渉計による2軸スケール回折格子パターニング -偏光制御ユニット改良によるパターン高精度化-
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使用非正交 2 轴劳埃德米勒干涉仪进行 2 轴刻度衍射光栅图案 - 通过改进偏振控制单元提高图案精度 -
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水 裕樹，真野 和樹，松永 雅教，村上 佑記，松隈 啓，高 偉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shota Takazono;Yuki Shimizu;Hiraku Matsukuma;Yuri Kanda;Hajime Inaba and Wei Gao;清水 裕樹，真野 和樹，松永 雅教，村上 佑記，松隈 啓，高 偉
