Improved doping performance of laser Al doping in 4H-SiC by substrate heating
Improved doping performance of laser Al doping in 4H-SiC by substrate heating
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通过衬底加热改善 4H-SiC 激光 Al 掺杂的掺杂性能
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Ikeda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
堀匡寛,小野行徳;A. Ikeda
