良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索
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寻找一种用于MEMS的具有良好绝缘性能的PZT基单晶薄膜的形成方法
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
海老原凌;吉田慎哉;田中秀治
