コロナ放電により選択的に堆積されるSiO2の特性
コロナ放電により選択的に堆積されるSiO2の特性
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电晕放电选择性沉积SiO2的特性
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西井準治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
酒井大輔;原田建治;原悠一郎;西井準治
