MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作
MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作
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使用MEMS压电薄膜的飞行装置原型
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
前中一介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中雄樹;神田健介;前中一介
