a-Si膜の熱プラズマジェット結晶化における基板加熱効果
a-Si膜の熱プラズマジェット結晶化における基板加熱効果
复制标题
非晶硅薄膜热等离子体射流晶化中的基片加热效应
DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
宮崎 誠一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
加久 博隆;東 清一郎;寄本 拓也;岡田 竜弥;村上 秀樹;宮崎 誠一
