微細円錐状突起物を形成させた基板に成膜したSiC薄膜のはく離強度評価
微細円錐状突起物を形成させた基板に成膜したSiC薄膜のはく離強度評価
复制标题
具有细小圆锥形突起的基板上沉积的 SiC 薄膜的剥离强度评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
加藤昌彦
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Y. Wu;T. Sato;J. Qiu and W. Lin;加藤昌彦
